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Courbeurs de miroirs

Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité 

  • Contrôle précis de la courbure
  • Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
  • Absence de torsion 
  • Insensible aux variations de température

Courbeurs de miroirs - IRELEC

Courbeurs de miroirs

Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité 

  • Contrôle précis de la courbure
  • Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
  • Absence de torsion 
  • Insensible aux variations de température

Courbeurs de miroirs - IRELEC

Les courbeurs de miroirs IRELEC utilisent le principe de la flexion 4-points, et permettent un niveau de contrôle inégalé de la forme des miroirs :

  • Configuration isostatique 
    • Supprime tout effort de torsion sur le miroir lors du cintrage
  •  Codage direct et absolu des efforts de cintrage
    • Permet une grande précision du contrôle de la courbure du miroir
    • Garantit une grande répétabilité de l’opération de cintrage
    • Offre la possibilité d’améliorer la forme initiale du substrat par optimisation des efforts de cintrage sous métrologie optique
  • Compatibilité ultravide  
    • Aucun moteur ou composant à fort taux de dégazage en contact avec le vide
  • Accès aisé au miroir pour l’installation et la maintenance

Deux actionneurs indépendants, associés à des miroirs profilés produits par les acteurs majeurs du domaine (Thales-Seso, Winlight, Zeiss, InSync, JTec…), permettent d’obtenir avec une grande précision la forme nominale parfaite.

Specifications

Rayon de courbure

De 50 m à ∞

Résolution (ΔR/R)

0,01%

Répétabilité et hystérésis (ΔR/R)

0,3%

Stabilité longue durée (ΔR/R)

0,05%

Erreur de pente tangentielle / forme nominale elliptique

< 100 nrad rms

Compatibilité ultravide

10-10 mbar

Compensateur de forme

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  • Compatible ultravide

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  • Longueur de miroir variable jusqu’à 1,5 m
  • Conçus pour s’inscrire dans le design optique de la ligne
  • Compatibles ultravide

Compensateur de forme

  • Correction de l’erreur de forme des miroirs < 1 nm rms
  • Manuels ou motorisés
  • Calibration par métrologie optique